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KAIST, 반도체 정밀공정 영상 복원기술 개발

삼성전자 반도체연구소와 공동연구 반도체산업에 사용되는 주사전자현미경은 불안정성으로 인해 흐려진 영상(블러·blur)을 보정하는 과정이 반드시 필요하다. KAIST는 장무석 바이오및뇌공학과 교수 연구팀이 삼성전자 DS부문 반도체연구소 차세대공정개발실과 공동 연구를 통해 왜곡과 강한 잡음이 존재하는 의료·산업 영상을 복원하는 기술을 개발했다고 26일 밝혔다. 스마트폰 카메라 사진에 영상의 흐림·왜곡이 생겼을 때 보정하는 문제를 디컨볼루션 또는 디블러링이라고 하며, 흐려진 영상 정보만 이용해 선명한 영상을 복원하는 기술을 블라인드 디컨볼루션이라고 한다. 디컨볼루션 문제는 일상뿐만 아니라 생물학 연구, 반도체 산업 등 다양한 분야에서 공통적으로 발생한다. 예를 들어 형광 현미경은 세포와 분자 수준의 미세 구조를 시각화하기 때문에 측정된 형광 신호는 산란이나 회절, 수차 등의 효과로 인해 흐려지기 때문에 디컨볼루션 기법을 통해 보정하는 과정이 반드시 필요하다. 반도체산업에서는 수천 개의 생산